公告公示
一、工程建設基本情況
1、建設地點、規模、主要建設內容
浙江廣芯微電子有限公司位于浙江省麗水市蓮都區南明山街道七百秧街122號，總占地面積98781m2，新建廠房、倉庫及附屬設施，實施6英寸高端特色硅基晶圓代工項目。項目主要采用光刻、刻蝕、離子注入、擴散、臺面腐蝕等生產技術，購置涂膠機、曝光機、顯影機、干刻機等國產、進口設備。目前形成年產60萬片6英寸高端特色硅基晶圓的生產能力。
項目工作制度及定員：本項目勞動定員300人，年工作日為360天，生產部門實行三班制（8640h），行政部門單班制，廠區內設職工食堂和宿舍。
2、建設過程及環保審批情況
公司于2022年8月委托麗水市環科環保咨詢有限公司編制了《浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目環境影響報告表》，并于2022年9月9日取得了麗水市生態環境局（麗水經濟技術開發區環境保護局）《關于浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目環境影響報告表的審查意見》麗環建開[2022]33號文件。項目2022年10月開工，2024年3月投入試生產，目前形成年產60萬片6英寸高端特色硅基晶圓的生產能力。項目于2023年4月進行排污許可登記，編號《91331100MA7AR3LT51001Y》。
3、投資情況
項目實際總投資為55000萬元，環保實際投資額為6170萬元，占項目實際總投資的11.2%。
4、驗收范圍
本次驗收為浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行驗收，驗收產能為年產60萬片6英寸高端特色硅基晶圓（30萬片溝槽肖特基二極管、30萬片平面VDMOS）。
二、工程變動情況
根據項目《竣工環保驗收監測表》及現場檢查：項目部分廠房設備未建設，驗收產能為年產60萬片6英寸高端特色硅基晶圓（30萬片溝槽肖特基二極管、30萬片平面VDMOS）；其它建設情況與環評基本一致，無重大變動。
三、環境保護設施建設情況
1、廢水
項目產生的廢水主要有生活污水、生產廢水（工藝酸堿廢水、含氟廢水、研磨廢水、有機廢水、純水制備系統廢水和廢氣洗滌塔廢水）。
工藝酸堿廢水和廢氣洗滌塔廢水進入酸堿廢水處理系統（TW001）處理，含氟廢水進入進含氟廢水處理系統（TW002）處理，研磨廢水排入研磨廢水處理系統（TW003）處理，有機廢水進入進有機廢水處理系統（TW004）處理。上述工藝廢水分質分流處理后達到《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值（其中氨氮排放執行《工業企業廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標準限值）后與純水制備系統廢水匯至生產廢水標排口DW002，標排口安裝在線監測，后廢水進入污水總排口DW001與經化糞池或隔油池預處理后的生活污水納管排放，所有廢水最終進入水閣污水處理廠處理達標后排放。具體處理工藝及處理能力（120t/d）詳見驗收監測報告。
2、廢氣
本項目廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣、其他工藝尾氣、廢氣處理裝置天然氣燃燒廢氣、污水處理站廢氣和少量化學品儲存和使用廢氣。
濕法蝕刻酸性廢氣設置通風柜收集進入一套酸性廢氣處理系統（TA001，4堿液噴淋塔3用1備）處理后由30m排氣筒（DA001）排放，總排風量為243000m3/h；項目不含砷工藝尾氣采用電熱+水洗SCURBBER凈化裝置處理后尾氣再納入酸性廢氣處理系統（TA001）處理后最終由30m排氣筒（DA001）排放；項目含砷工藝廢氣采用干式吸附SCURBBER凈化裝置處理+二級吸附處理系統處理后納入酸性廢氣處理系統（TA001）處理，最終由30m排氣筒（DA001）排放；堿性廢氣設置堿性廢氣處理系統（TA002，3臺酸液噴淋塔2用1備）對堿性廢氣進行處理后由30m排氣筒（DA002）排放，總排風量為62000m3/h；有機廢氣收集后經過沸石轉輪&直接燃燒+深度過濾系統（TA003）進行處理后由30m排氣筒（DA003）排放，總排風量為82500m3/h，天然氣燃燒廢氣經有機廢氣排氣筒（DA003）和處理后的有機廢氣一同排放。酸堿廢水處理系統廢氣采用1套堿液噴淋處理設施（TA004）處理后經30m排氣筒（DA004）排放，最大風量為3000m3/h；有機廢水處理系統廢氣采用1套堿液噴淋處理設施（TA005）處理后經30m排氣筒（DA005）排放，最大風量為20000m3/h。公司生產廠房一層化學品供應間設置排風系統，根據供應化學品的性質將排風與廠區酸、堿和有機排風系統連接，將化學品供應過程中揮發的廢氣排入相應的廢氣處理系統排放；化學品倉庫均設置應急系統，收集處置突發環境事件中揮發或散逸的廢氣后達標排放。
3、噪聲
項目噪聲主要為機械設備的運行噪聲。通過合理布局和選用低噪設備等措施來降低設備運行時產生的噪聲以及減少對周邊環境的影響。
4、固廢
項目危險廢物有廢堿液、廢酸液、廢有機溶劑、含金屬廢液、廢抹布（沾染化學物質）、廢過濾芯、廢化學品包裝材料、廢鉛酸電池和鎘電池、廢汞燈、廢礦物油、廢填料、廢吸附過濾介質、含氟污泥、研磨污泥；一般固體廢物有有機污泥、廢離子交換樹脂、廢靶材、一般廢包裝材料、廢拋光墊、不合格品、一般廢過濾介質和生活垃圾。
廢堿液、廢酸液委托浙江威爾森新材料有限公司和浙江育隆環保科技有限公司處置；廢礦物油、廢有機溶劑、含金屬廢液委托浙江育隆環保科技有限公司處置；廢鉛酸電池和鎘電池、廢汞燈委托麗水光大環保固廢處置有限公司處置；廢抹布（沾染化學物質）、廢過濾芯、廢化學品包裝材料、廢填料、廢吸附過濾介質、含氟污泥、研磨污泥委托浙江育隆環保科技有限公司和麗水光大環保固廢處置有限公司處置；廢靶材、一般廢包裝材料、廢拋光墊、不合格品外售至物資回收單位；有機污泥、廢離子交換樹脂、一般廢過濾介質和生活垃圾委托環衛部門清運處置。
5、其它
企業生產廢水標排口（DW002）已安裝在線監測；已基本落實環境風險防范措施，設有1座應急池1200m3，位于動力站，并制定了環境風險事故應急預案，已備案（331102-2023-49-M）。
四、環境保護設施調試效果
1、廢水
根據監測結果，公司外排廢水經預處理后各指標濃度能達到《電子工業水污染物排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值要求，其中氨氮排放能達到《工業企業廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標準限值要求，五日生化需氧量排放能達到《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）中三級標準要求。
有機廢水處理設施對化學需氧量、石油類、和五日生化需氧量的去除率分別能達到82.56%、79.14%、81.63%。酸性廢水處理設施對氨氮、總氮、總磷的去除率分別能達到37.69% 、46.15%、46.36%。含氟廢水處理設施對氟化物的去除率能達到41.88%。研磨廢水處理設施對懸浮物的去除率能達到76.66%。
2、廢氣
無組織排放：公司廠界無組織排放監控點非甲烷總烴、硫酸霧、氟化物、氯化氫、氨、氮氧化物、氯氣、顆粒物、臭氣濃度和砷均能達到《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中無組織排放監控濃度限值、北京市《大氣污染物綜合排放標準》（DB11/501-2017）表3II時段標準限值和《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）廠界標準。
有組織排放：項目各廢氣處理設施排放口的顆粒物、氟化物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧、非甲烷總烴、氯氣排放濃度和速率均能達到《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中新污染源大氣污染物最高允許排放濃度的二級標準值要求，有組織排放的砷及其化合物、氨能達到北京市《大氣污染物綜合排放標準》（DB11/501-2017）表3II時段標準要求。
周邊敏感目標北師大麗水實驗學校環境空氣中氮氧化物、氨氣、氯化氫、氟化物、總懸浮顆粒物能達到《環境空氣質量標準》（GB3095-2012）及修改單中的二級標準和環評建議值要求。
3、噪聲
驗收監測期間，項目廠界東側、南側晝間、夜間噪聲均達到《工業企業廠界環境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類標準要求，廠界西側、北側能達到4類標準要求。
4、總量控制情況：根據驗收期間監測結果核算，項目實際排放量為COD：21.12t/a、NH3-N：1.056t/a、SO2：0.07t/a、NOX：0.632t/a，符合環評總量控制要求。
五、驗收現場檢查結論
依據《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》（國環規環評[2017]4號），浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行環保手續齊全。根據《 浙江廣芯微電子有限公司6英寸高端特色硅基晶圓代工項目先行竣工環境保護驗收監測表》等資料及環境保護設施現場檢查情況，企業基本按照建設項目環境保護“三同時”的有關要求落實了各項環境保護設施與措施。驗收組建議通過建設項目竣工環保驗收，并按要求公示驗收情況。
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