公告公示
根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》和《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法》要求，2024年5月30日，浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司邀請(qǐng)相關(guān)單位人員及專家組成驗(yàn)收工作組，根據(jù)浙江齊鑫環(huán)境檢測(cè)有限公司編制的《浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項(xiàng)目先行竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)表》（QX(竣)20240503），嚴(yán)格依照國(guó)家有關(guān)法律法規(guī)、建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收技術(shù)規(guī)范、本項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)報(bào)告表和審批部門(mén)審批意見(jiàn)等要求對(duì)本項(xiàng)目進(jìn)行驗(yàn)收，內(nèi)容如下：
一、工程建設(shè)基本情況
1、建設(shè)地點(diǎn)、規(guī)模、主要建設(shè)內(nèi)容
浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司位于麗水市蓮都區(qū)成大街618號(hào)地塊，地塊總占地面積92659m2，在該地塊新建廠房、倉(cāng)庫(kù)及附屬設(shè)施，實(shí)施大直徑硅片外延項(xiàng)目 。項(xiàng)目主要采用SC-1清洗、清洗、外延、檢測(cè)的生產(chǎn)技術(shù)工藝，購(gòu)置外延爐、洗凈機(jī)、顆粒測(cè)試儀等國(guó)產(chǎn)及進(jìn)口設(shè)備，建成現(xiàn)狀年產(chǎn)40萬(wàn)片200mm半導(dǎo)體硅外延片和60萬(wàn)片300mm半導(dǎo)體硅外延片的生產(chǎn)能力。
項(xiàng)目工作制度及定員：本項(xiàng)目勞動(dòng)定員192人，實(shí)行三班制工作制度，年工作300天，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有食堂和宿舍。
2、建設(shè)過(guò)程及環(huán)保審批情況
公司于2022年5月委托麗水市環(huán)科環(huán)保咨詢有限公司編制了《浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》，并于2022年5月30日取得麗水市生態(tài)環(huán)境局出具的《關(guān)于浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)的審批意見(jiàn)》（麗環(huán)建開(kāi)[2022]23號(hào)）。項(xiàng)目2022年5月開(kāi)工，2023年7月投入試生產(chǎn)，目前形成年產(chǎn)40萬(wàn)片200mm半導(dǎo)體硅外延片和60萬(wàn)片300mm半導(dǎo)體硅外延片的生產(chǎn)能力。項(xiàng)目已進(jìn)行排污許可登記，編號(hào)《91331100MA7BF2F296001W》，有效日期為2022年9月29日-2027年9月28日。
3、投資情況
項(xiàng)目實(shí)際總投資為350000萬(wàn)元，環(huán)保實(shí)際投資額為6000萬(wàn)元，占項(xiàng)目實(shí)際總投資的1.71%。
4、驗(yàn)收范圍
本次驗(yàn)收為浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項(xiàng)目先行驗(yàn)收，驗(yàn)收產(chǎn)能為年產(chǎn)40萬(wàn)片200mm半導(dǎo)體硅外延片和60萬(wàn)片300mm半導(dǎo)體硅外延片。
二、工程變動(dòng)情況
根據(jù)項(xiàng)目《竣工環(huán)保驗(yàn)收監(jiān)測(cè)表》及現(xiàn)場(chǎng)檢查：項(xiàng)目部分廠房設(shè)備未建設(shè)，驗(yàn)收產(chǎn)能為年產(chǎn)40萬(wàn)片200mm半導(dǎo)體硅外延片和60萬(wàn)片300mm半導(dǎo)體硅外延片；根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備布局情況增加2套堿液噴淋塔（合計(jì)為4套）；公司針對(duì)氣站酸性氣體（氯化氫）增設(shè)堿性噴淋塔處理后15m排氣筒排放，針對(duì)污水處理臭氣微負(fù)壓收集增設(shè)噴淋塔處理后25m排氣筒排放；其它建設(shè)情況與環(huán)評(píng)基本一致，無(wú)重大變動(dòng)。
三、環(huán)境保護(hù)設(shè)施建設(shè)情況
1、廢水
項(xiàng)目產(chǎn)生的廢水主要有生活污水、初期雨水、生產(chǎn)廢水（硅片洗凈機(jī)工藝廢水、片盒預(yù)洗凈機(jī)清洗廢水、石英件洗凈機(jī)工藝廢水、scubber除害裝置廢水）、公用廢水（蒸汽冷凝水及排污水、離子水制備濃縮水、純水制備反沖洗水和廢氣洗滌塔廢水）。
生活廢水經(jīng)化糞池或隔油池預(yù)處理后的生活污水納管排放；初期雨水經(jīng)收集池（720m3）收集后引入終端沉淀池處理后納管排放。
硅片洗凈工藝廢水主要有酸堿廢水、含氟廢水、含氨廢水，各自進(jìn)入污水站內(nèi)已建的含氨廢水、含氟廢水、酸堿廢水處理系統(tǒng)處理處理；片盒洗凈機(jī)清洗廢水進(jìn)入污水站酸堿廢水處理系統(tǒng)處理；石英件洗凈機(jī)廢水進(jìn)入污水站含氟廢水處理系統(tǒng)處理；scubber除害廢水進(jìn)入污水站酸堿廢水處理系統(tǒng)處理；鍋爐排污水、純水制備反沖洗水和廢氣洗滌塔廢水進(jìn)入污水站酸堿廢水系統(tǒng)處理，上述廢水處理后引入終端沉淀池處理后納管排放；蒸汽冷凝水回用于生產(chǎn)；離子水制備濃縮水納管排放。各類廢水最終進(jìn)入水閣污水處理廠處理達(dá)標(biāo)后排放，具體處理工藝及處理能力詳見(jiàn)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告。
2、廢氣
本項(xiàng)目廢氣主要為硅片清洗產(chǎn)生的酸性廢氣、堿性廢氣、外延廢氣、鍋爐燃燒廢氣、污水站臭氣、氣站廢氣、食堂油煙。
酸性廢氣槽內(nèi)負(fù)壓收集后進(jìn)入4套廢氣洗滌塔（堿液噴淋）處理后各通過(guò)4根25m高排氣筒排放。
堿性廢氣槽內(nèi)負(fù)壓收集后進(jìn)入酸液洗滌塔處理后通過(guò)1根25m高排氣筒排放。
外延廢氣經(jīng)外延爐尾部自帶尾氣處理器（local scrubber）兩級(jí)水洗處理后匯總至樓頂5套噴淋塔+吸附裝置二次處理后經(jīng)5根25m排氣筒排放。
鍋爐燃燒廢氣收集引至25m排氣筒排放。
污水站臭氣設(shè)置負(fù)壓集氣管道收集引至樓頂一套“噴淋塔”處理后25m排氣筒排放。
氣站房?jī)?nèi)的酸性氣體（氯化氫）收集引至一套“堿性噴淋塔”處理后于15m排氣筒排放。
食堂油煙經(jīng)油煙凈化裝置處理后樓頂高空排放。
3、噪聲
項(xiàng)目噪聲主要為機(jī)械設(shè)備的運(yùn)行噪聲。通過(guò)合理布局和選用低噪設(shè)備等措施來(lái)降低設(shè)備運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的噪聲以及減少對(duì)周邊環(huán)境的影響。
4、固廢
項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物有含汞廢片、廢水處理污泥污泥、危廢包裝容器、職工生活垃圾、廢次品、廢滲透膜、廢吸附棉、廢活性炭、廢機(jī)油。
含汞廢片、廢水處理污泥、危廢包裝容器、廢吸附棉、廢機(jī)油、分類收集暫存危廢間內(nèi)，委托光大綠保固廢處置（溫嶺）有限公司處置；廢次品回收綜合利用；廢活性炭廠家維護(hù)回收；廢滲透膜、生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門(mén)清運(yùn)處置。
5、其它
公司污水處理處理系統(tǒng)排放口、總排口設(shè)置了在線監(jiān)測(cè)裝置，運(yùn)維單位為麗水同泰環(huán)保科技有限公司；已基本落實(shí)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范措施，設(shè)有1座地埋式應(yīng)急池640m3，并制定了環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)事故應(yīng)急預(yù)案，已備案（331102-2023-53-H）。
四、環(huán)境保護(hù)設(shè)施調(diào)試效果
1、廢水
根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果，公司總排口廢水中pH值范圍、懸浮物、化學(xué)需氧量、總磷、總氮、氟化物、石油類排放濃度均符合《電子工業(yè)水污染排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中表1間接排放限值，其中氨氮排放符合《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標(biāo)準(zhǔn)限值要求；動(dòng)植物油和五日生化需氧量符合《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）中三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求。
項(xiàng)目含氨廢水處理設(shè)施化學(xué)需氧量處理效率為90.26%。酸堿廢水處理信息氨氮處理效率為92.10%，含氨廢水處理設(shè)施氨氮處理效率為96.10%，含氟廢水處理設(shè)施氟化物處理效率為43.47%，含氨廢水處理設(shè)施總氮處理效率為87.95%。
2、廢氣
無(wú)組織排放：公司廠界無(wú)組織顆粒物、氯化氫、氟化物、氮氧化物濃度均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）無(wú)組織標(biāo)準(zhǔn)要求；氨氣、臭氣濃度符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）廠界標(biāo)準(zhǔn)要求。
敏感點(diǎn)環(huán)境空氣中總懸浮顆粒物、氟化物、氮氧化物均符合《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及修改單中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求。特征污染物氯化氫、氨氣符合環(huán)評(píng)提出標(biāo)準(zhǔn)要求（HJ2.2-2018附錄D）。
有組織排放：驗(yàn)收監(jiān)測(cè)期間，公司干式酸排排氣筒出口氯化氫、顆粒物排放均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及排放速率要求。濕式酸排排氣筒出口氟化物、氮氧化物排放均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及排放速率要求。堿排排氣筒出口氨氣排放符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）中排放速率要求。天然氣燃燒廢氣排氣筒出口顆粒物、二氧化硫、氮氧化物、煙氣黑度排放均符合《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB13271-2014）中新建燃?xì)忮仩t特別排放標(biāo)準(zhǔn)要求及《燃?xì)忮仩t低氮改造工作技術(shù)指南（試行）》標(biāo)準(zhǔn)要求。污水站臭氣排氣筒出口臭氣濃度、氨、硫化氫排放均符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）中標(biāo)準(zhǔn)要求。氣站酸性廢氣排氣筒出口氯化氫排放符合《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及排放速率要求。
3、噪聲
驗(yàn)收監(jiān)測(cè)期間，公司廠界東側(cè)晝間和夜間噪聲符合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）中3類標(biāo)準(zhǔn)要求，其中南側(cè)、西側(cè)、北側(cè)滿足4a類標(biāo)準(zhǔn)要求。
敏感點(diǎn)晝間和夜間噪聲符合《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）中2類標(biāo)準(zhǔn)要求。
4、總量控制情況：根據(jù)驗(yàn)收期間監(jiān)測(cè)結(jié)果核算，項(xiàng)目實(shí)際排放量為COD：16.88t/a、NH3-N：0.844t/a、SO2：0.004t/a、NOX：0.066t/a，符合環(huán)評(píng)總量控制要求。
五、驗(yàn)收結(jié)論
依據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法》（國(guó)環(huán)規(guī)環(huán)評(píng)[2017]4號(hào)），浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項(xiàng)目先行環(huán)保手續(xù)齊全。根據(jù)《 浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項(xiàng)目先行竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)表》等資料及環(huán)境保護(hù)設(shè)施建設(shè)情況，企業(yè)基本按照建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)“三同時(shí)”的有關(guān)要求落實(shí)了各項(xiàng)環(huán)境保護(hù)設(shè)施與措施，并按要求公示驗(yàn)收情況。
公示日期：2024年6月14日-7月14日
聯(lián)系人、電話：姚繼斌 13735387965
公示網(wǎng)站：http://www.kangxin8.cn/default.aspx?pageid=65
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